Сорғыш саптама:
Жаңа TX модулі 22um@3sigma дейін максималды дәлдікпен жұмыс істей алады, 103,800CPh жылдамдыққа қол жеткізе алады және 0201 (мм) құрамдас бөліктердің өте тығыз аралығын ең жоғары жылдамдықпен орнатады, Жоғары дәлдік үшін сору саптамасының көмегі қажет. Егер сору шүмегінен вакуум ағып кетсе, жабдық жеткіліксіз вакуумды көрсетеді және өшеді, Қате туралы жиі хабарлау жабдықты орналастыру тиімділігі мен сапасына өте жағымсыз әсер етеді.